3月14日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（中微公司，688012）公告称，公司董事范晓宁、黄庆、杜志游提交书面辞职报告。三人因个人原因，申请辞去公司董事职务。辞职后，范晓宁、黄庆不再担任公司的任何职务；杜志游仍为公司副总经理、核心技术人员。截至本公告披露日，范晓宁、黄庆未持有公司股份。
此外，陈大同因个人原因无法履行公司独立董事职务，公司董事会提名张聿为公司第二届董事会新任独立董事候选人。
中微公司表示，对范晓宁、黄庆、杜志游在担任公司董事期间恪尽职守、勤勉尽责，为公司的规范运作和健康发展发挥了极为重要的积极作用，
公司对范晓宁、黄庆、杜志游在任职期间所做的卓越贡献表示衷心感谢。范晓宁是中微公司大股东大基金管理方华芯投资派出的董事。简历显示，范晓宁，1983年5月出生，中国国籍，无境外永久居留权。现任华芯投资管理有限责任公司投资三部总经理。
公开资料显示，杜志游，1959年生，美国国籍，上海交通大学学士，美国麻省理工学院硕士、博士。2004年至今，历任中微公司副总裁、资深副总裁、首席运营官，现任中微公司副总经理。
黄庆，1962年生，美国国籍，曾在中国四川大学就读物理学专业，后于美国加州大学伯克利分校获得物理学学士学位和电气工程硕士、博士学位。2021年9月起出任中微公司董事。
3月14日，中微公司第二届董事会第十次会议审议通过了《关于补选公司第二届董事会非独立董事并相应调整董事会专门委员会成员的议案》，同意提名欧阳昳昀、丛海、陶珩为公司第二届董事会非独立董事候选人，任期自股东大会审议通过之日起至公司第二届董事会届满之日止。
简历显示：欧阳昳昀为1994年出生，中国国籍，硕士研究生。现任华芯投资管理有限责任公司投资三部经理。丛海，1967年出生，新加坡国籍，硕士研究生，2020年加入中微公司，现任公司副总裁兼刻蚀部门总经理。陶珩为1975年出生，中国国籍，硕士研究生，2005年加入中微公司，现任集团副总裁、LPCVD 产品部和公共平台工程部总经理。
此外，陈大同因个人原因无法履行公司独立董事职务，公司董事会提名张聿为公司第二届董事会新任独立董事候选人，任期自股东大会审议通过之日起至公司第二届董事会届满之日止。若张聿当选公司独立董事，将同时担任董事会提名委员会召集人及薪酬与考核委员会召集人，任期自公司股东大会审议通过之日起至公司第二届董事会届满之日止。
根据公告，张聿1972年出生，中国国籍，硕士研究生。曾先后担任建信投资执行董事、飞利浦机顶盒业务部全球总经理、PMCS全球副总裁兼中国区总裁。现任华登董事总经理。
中微公司是中国半导体蚀刻设备龙头公司，是唯一能切入7纳米以下先进制程产线的中国设备商。
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